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    Aufgabe DOLLAR A Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung zu schaffen, wobei das Verfahren hohe Herstellungskosten und komplizierte Herstellungsanlagen vermeidet, welche durch genaue Ausrichtung in einer Vakuumumgebung veranlaßt sind, wobei das Verfahren den Einschluß von Wasser in einem Innenraum und einem Füllstoffmaterial beim Verfahrensschritt des Verklebens einer organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und eines Farbkonversionsfilters verhindert. DOLLAR A Lösung der Aufgabe DOLLAR A Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung umfaßt folgende Verfahrensstufen: Herstellung einer organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und eines Farbkonversionsfilters; Einbringen der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und des Farbkonversionsfilters in eine Umgebung, wo die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind; Aufbringen eines Umfangsversiegelungsmittels in Ringform rundum das Farbkonversionsfilter; Aufbringen eines Füllstoffmaterials über das Farbkonversionsfilter und innerhalb des Umfangsversiegelungsmittels; Transferieren der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und des Farbkonversionsfilters in eine Vakuumkammer und Evakuieren der Vakuumkammer; vorläufiges Ausrichten und Verkleben der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und des Farbkonversionsfilters, um ein Aggregat zu erhalten; Überführung des Aggregats in eine ...
    公开号:DE102004010000A1
    申请号:DE102004010000
    申请日:2004-03-01
    公开日:2004-09-23
    发明作者:Katsuhiko Yanagawa
    申请人:Fuji Electric Holdings Ltd；
    IPC主号:H05B33-10
    专利说明:
    [0001] Die vorliegende Erfindung betrifftein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von organischen EL-Anzeigevorrichtungen,die hohe Präzisionund ausgezeichnete Sichtbarkeit zeigen. Die organische EL-Anzeigevorrichtungenkönnenbei Display-Vorrichtungen in einem weiten Bereich von Ausrüstungeneingesetzt werden, einschließlichtragbare Terminals und industrielle Instrumente.
    [0002] In den letzten Jahren schreiten dieBeschleunigung der Informationskommunikation und die Ausweitungdes Anwendungsgebietes rasch voran. Unter diesen Umständen wurdeeine großeAnzahl verschiedener Anzeigevorrichtungen vorgeschlagen, welchedie Anforderungen fürTragfähigkeitund bewegte Anzeigen erfüllenund niedrigen Energieverbrauch, Hochgeschwindigkeitsresponse undhohe Präzisionzeigen.
    [0003] In Farbanzeigesystemen wurde einTyp von Farbanzeigevorrichtungen geschaffen, welcher ein Treibersystemunter Verwendung von Dünnfilmtransistoren(TFTs) verwendet. In diesem System kann ein Typ der Vorrichtungen,bei denen Licht von einer Substratseite, an der die TFTs gebildetsind, wegen der Abfangwirkung der Verdrahtungsteile keine hohe Aperturerreichen. Daher wurde neuerdings ein sogenannter Topemissionstypgeschaffen, bei dem Licht von einer Kehrseite des Substrats emittiertwird, auf dem die TFTs gebildet sind.
    [0004] Es wird die Möglichkeit aufgezeigt, eineorganische EL-Anzeigevorrichtung mit hoher Präzision und hoher Leuchtstärke zu schaffenmit einer Kombination des Topemissionssystems und eines Farbkonversionssystems,worin mehrfarbiges Fluoreszenzlicht von jedem von fluoreszierendenKörpernemittiert wird, die getrennt verteilt sind und angeregtes Lichtabsorbieren (Patentdokumente 1 und 2).
    [0005] 5 zeigteinen schematischen Querschnitt einer Struktur einer organischenEL-Anzeige des Standesder Technik. Auf einem Substrat 602 sind TFTs 604,Bodenelektrode 606, organische EL-Schicht 608,und Kopfelektrode 610 gebildet. Dann ist auf dem Umfangsbereichdes Substrats 616 eine Umfangsabdichtungsschicht 618 unterVerwendung von beispielsweise zwei flüssigen Epoxy-Klebstoffen, diebei Raumtemperatur härten.Die Umfangsdichtungsschicht ist mit dem transparenten Substrat 616 verbunden(bonded). Zwischen den zwei Substraten ist ein Innenraum 620 gebildet.
    [0006] Diese Struktur hat jedoch ein Problemder Verschlechterung des Lichtemissionswirkungsgrades der Anzeigevorrichtung,da ein Teil des von der organischen EL-Schicht 608 emittiertenLichts an der Grenzfläche zwischendem Innenraum 620 und der Kopfelektrode 610 und/oderan der Grenzflächezwischen dem Innenraum 620 und der Farbkonversionsfilterschicht 612 reflektiertwird.
    [0007] Es wurde untersucht, die Reflexionan den Grenzflächendurch Ausfüllendes Innenraums mit Klebstoff zu unterdrücken, wenn das Decksubstratan die organische EL-lichtemittierendeVorrichtung vom Kopfemissionstyp gebunden wird (Patentdokument 3).Jedoch ist das Deckelsubstrat im Patentdokument 3 nur dazu bestimmt,eine organische EL-lichtemittierendeVorrichtung zu versiegeln. Dieses Dokument offenbart nicht die Anordnungeiner Farbkonversionsfilterschicht auf dem Deckelsubstrat und erwähnt keineAusrichtung zwischen einer Farbkonversionsfilterschicht und einerorganischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung.
    [0008] Andererseits wird ein Verfahren desVerbindens (bonding) und der gleichzeitigen Ausrichtung in einer Vakuumkammerim Herstellungsverfahren von Flüssigkristallanzeigevorrichtungendurchgeführt(Patentdokument 4).
    [0009] Die erwähnten, mit Nummer bezeichnetenund weitere Patentdokumente sind im folgenden aufgeführt (JP....-A= ungeprüftejapanische Patentanmeldung): [Patentdokument 1] JP H11-251059-A [Patentdokument2] JP 2000-77191-A [Patentdokument3] JP H11-283739-A [Patentdokument4] JP 2002-229042-A [Patentdokument5] JP H5-134112-A [Patentdokument6] JP H7-218717-A [Patentdokument7] JP H7-306311-A [Patentdokument8] JP H5-119306-A [Patentdokument9] JP H7-104114-A [Patentdokument10] JP H6-300910-A [Patentdokument11] JP H7-128519-A [Patentdokument12] JP H8-279394-A [Patentdokument13] JP H9-330793-A [Patentdokument14] JP H5-36475-A
    [0010] In einer Anzeigevorrichtung, diedurch Verbinden (Verkleben, bonding) einer organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung und eines Farbkonversionsfilters hergestellt wird, bestehtauch ein Bedürfnis,Reflexion innerhalb der Anzeigevorrichtung zu unterdrücken, umdie Lichtemissionsleistung zu verbessern. Wichtige Punkte in einemVerfahren zum Fülleneines Innenraums mit einem Füllmaterialsind, die Erzeugung von Hohlräumenan der Kontaktebene des Füllstoffsmit der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und/oder mit demFarbkonversionsfilter zu vermeiden und die Parallelität zwischendem Substrat der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung unddem Substrat des Farbkonversionsfilters aufrechtzuerhalten durchVerformung des Füllmaterialsbeim Bindungsverfahren. Reflexion und Brechung von Licht von derorganischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung treten nämlich anden Leerräumenauf, was zu einer Herabsetzung der Emissionsleistung und der Anzeigequalität führt.
    [0011] Ein mögliches Verfahren wäre, eine Öffnung zumEinspritzen von Füllmaterialin einer Bindungsschicht vorzusehen, die an der Peripherie des einenoder anderen Substrats der zwei zu verbindenden Substrate ausgebildetist. Danach wird ein Füllstoffdurch die Öffnungeingespritzt und dann die Öffnungversiegelt (Endsiegel). Dieses Verfahren erfordert jedoch zusätzlicheSchritte des Bohrens der Öffnungin der Bindungsschicht und eine Endversiegelung und entsprechendeKostensteigerung.
    [0012] Ein anderes Verfahren wäre eines,bei dem nach dem Aufbringen eines Füllstoffs auf das eine oder andereSubstrat die organische EL-lichtemittierende Vorrichtung und dasFarbkonversionsfilter unter Druck verbunden werden, während diebeiden ausgerichtet werden. Jedoch kann Luft eintreten und Einschluß von Blasenbewirken, wenn das Preßverbindenunter Atmosphärendruckdurchgeführtwird. Statt dessen könnte dasPreßverbindenin einem Vakuum durchgeführtwerden. Obgleich so der Einschluß von blasenerzeugender Luftbei dieser Methode wegfiele, erfordert die Ausrichtung in einemVakuum komplizierte Ausrüstungund erhöhtdie Herstellungskosten.
    [0013] Daher wird eine Methode benötigt, welcheden Innenraum zwischen der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtungund dem Farbkonversionsfilter mit einem Füllstoff ohne Einschluß von Blasenausfülltund gleichzeitig eine Ausrichtung der organischen EL-lichtemittierendeVorrichtung und des Farbkonversionsfilters erleichtert.
    [0014] Ein weiteres zu lösendes Problem ist, daß Einschluß von Wasserin dem Innenraum zwischen der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung und dem Farbkonversionsfilter und im Füllmaterialzum Ausfüllen desInnenraums vermieden werden sollte. Das im Innenraum und/oder demFüllmaterialeingeschlossene Wasser diffundiert in eine organische lichtemittierendeSchicht der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und erzeugtFlecken, die kein Licht emittieren können (sogenannte Dark Spots).
    [0015] Es wird also auch ein Verfahren benötigt, welchesdieses Problem vermeidet und den Einschluß von Wasser im Innenraum undFüllmaterialbeim Verfahren des Verbindens der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtungund des Farbkonversionsfilters vermeidet.
    [0016] Um die obigen Problem zu lösen, weistein Verfahren zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtunggemäß einemersten Aspekt der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung folgende Schritte auf: es wird eine organischeEL-lichtemittierende Vorrichtung hergestellt, die wenigstens eineerste Elektrode, eine organische EL-Schicht und eine über einemersten Substrat angeordnete zweite Elektrode aufweist; es wird einFarbkonversionsfilter hergestellt, das wenigstens eine Farbkonversionsfilterschichtaufweist, die über einemzweiten Substrat angeordnet ist; die organische EL-lichtemittierendeVorrichtung und das Farbkonversionsfilter werden in eine Umgebunggebracht, in der die Konzentration von Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind;es wird ringförmigringsum das Farbkonversionsfilter ein Umfangsversiegelungsmittelangebracht; über derFarbkonversionsfilterschicht und innerhalb des Umfangsversiegelungsmittelswird ein Füllmaterialaufgebracht; die organische EL-lichtemittierendeVorrichtung und das Farbkonversionsfilter werden in eine Vakuumkammergebracht und die Vakuumkammer wird evakuiert; es wird eine Vor-Ausrichtungder organischen EL-lichtemittierende Vorrichtung und des Farbkonversionsfiltersdurchgeführtund die organische EL-lichtemittierende Vorrichtung und das Farbkonversionsfilterwerden miteinander verbunden, um eine Aggregat zu erhalten; dasAggregat wird herausgenommen und in eine Umgebung gebracht, in derdie Konzentration von Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind undAtmosphärendruckherrscht; und das Aggregat wird mit Ultraviolettstrahlung bestrahlt,um das Umfangsversiegelungsmittel in der Umgebung, in der die Konzentrationvon Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruckist, zu härten,um eine organische EL-Anzeigevorrichtung zu erhalten.
    [0017] Vorteilhafterweise weist das Verfahrender Erfindung weiterhin einen Schritt auf, in welchem eine zweiteAusrichtung des Aggregats vor dem Schritt der Bestrahlung des Aggregatsmit Ultraviolettstrahlung durchgeführt wird.
    [0018] Vorteilhafterweise hat das Füllmaterialeine größere Oberflächenspannungals eine Oberflächenspannungeiner Oberflächedes Farbkonversionsfilters.
    [0019] Vorteilhafterweise enthalten dieUmgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoff kontrolliertsind, und die Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasserstoffund Sauerstoff kontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruckist, nicht mehr als 50 ppm Wasser und nicht mehr als 50 ppm Sauerstoff.
    [0020] Eine Vorrichtung zur Herstellungeiner organischen EL-Anzeigevorrichtung gemäß einem zweiten Aspekt derAusführungder vorliegenden Erfindung weist folgende Elemente auf eine Vorrichtungzum Transportieren einer organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung,die wenigstens eine erste Elektrode, eine organische EL-Schichtund eine zweite Elektrode, die auf einem ersten Substrat angeordnetist, aufweist, in eine Umgebung, in der die Konzentrationen vonWasser und Sauerstoff kontrolliert sind; ein Mittel zum Transportieren einesFarbkonversionsfilters, das wenigstens eine Farbkonversionsfilterschichtauf einem zweiten Substrat angeordnet enthält, in die Umgebung, in derdie Gehalte an Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind; ein Mittel zumAufbringen eines Umfangsversiegelungsmittels ringsum das Farbkonversionsfilter;ein Mittel zum Aufbringen eines Füllmaterials über derFarbkonversionsfilterschicht und innerhalb des Umfangsversiegelungsmittels; einerstes Mittel zum Transferieren der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung und des Farbkonversionsfilters in eine Vakuumkammer;ein Verbindungsmittel, zum Durchführen einer Vor-Ausrichtung der organischenEL-lichtemittierenden Vorrichtung und des Farbkonversionsfiltersund zum Verbinden der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtungund des Farbkonversionsfilters, um ein Aggregat zu erhalten; einezweite Vorrichtung zum Transferieren des Aggregats von der Vakuumkammerin eine Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruck ist; und ein Mittel zurBestrahlung des Aggregats mit Ultraviolettbestrahlung zum Härten desUmfangsversiegelungsmittels in der Umgebung, in der die Konzentrationenan Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind und Atmosphärendruck herrscht.
    [0021] Vorteilhafterweise weist die erfindungsgemäße Vorrichtungweiterhin ein Mittel zur Durchführungeiner zweiten Ausrichtung des Aggregats in der Umgebung, in welcherdie Konzentrationen von Wasser und Sauerstoff kontrolliert sindund Atmosphärendruckherrscht, auf.
    [0022] Der Aufbau und ein Herstellungsverfahreneiner organischen EL-Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung werden mitBezug auf 1 beschrieben. 1(a) zeigt einen Querschnitteiner organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung 160. 1(b) zeigt einen Querschnitteines Farbkonversionsfilters 150, das mit einem Umfangsversiegelungsmittel 130' und einem Füllmaterial 128' versehen ist. 1(c) zeigt einen Querschnitteiner organischen EL-Anzeigevorrichtung 140,die durch Kombination des Farbkonversionsfilters 150 undder organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung 160 hergestelltist.
    [0023] Ein erstes Substrat 102 kannein isolierendes Substrat aus Glas oder Kunststoff sein oder einSubstrat mit einem dünnenIsolationsfilm, der auf einem halbleitenden oder leitenden Substratgebildet ist. Statt dessen kann das erste Substrat 102 einbiegsamer Film sein, der aus Polyolefin, Acrylharz, Polyesterharzoder Polyimidharz geformt ist.
    [0024] Ein TFT 104 ist eine Schaltvorrichtungfür Aktiv-Matrix-Antrieb.Die TFTs 104 sind in einer Matrixanordnung auf dem erstenSubstrat 102 angeordnet. Eine Source-Elektrode oder eineDrain-Elektrode ist mit einer ersten Elektrode 108 verbunden,die jedem Pixel entspricht. Ein TFT 104 ist vorzugsweiseein Bottom-Gate-Typ mit einer Gate-Elektrode unter einem Gate-Isolatorfilmund verwendet einen Polykristallin-Silizium-Film als eine aktiveSchicht.
    [0025] Ein Verdrahtungsteil für eine Drain-Elektrodeund eine Gate-Elektrode eines TFT 104 und die Struktur desTFT selbst könnennach einem im Stand der Technik bekannten Verfahren hergestelltwerden, um die geforderte Stehspannung, Sperrstrom- und Durchlaßstromleistungenzu erreichen. In der erfindungsgemäßen organischen EL-Anzeigevorrichtung,welche ein Kopfemissionssystem verwendet, tritt Licht nicht durcheine TFT-Region. Demgemäß brauchtein TFT nicht auf eine kleine Größe begrenztzu sein, um die Apertur zu erhöhen,wodurch man größere Freiheitim TFT-Design erhält,was vorteilhaft ist, um die oben erwähnten Leistungen zu erreichen.
    [0026] Vorzugsweise ist ein planierenderIsolationsfilm 106 auf den TFTs 104 vorgesehen,jedoch nicht unbedingt erforderlich. Der planierende Isolationsfilm 106 wirdin einem Bereich, ausgenommen Stellen, die zur Verbindung der erstenElektrode 108 und der Source-Elektrode oder der Drain-Elektrode desTFT 104 oder zur Verbindung mit anderen Stromkreisen benötigt werden,gebildet. Der planierende Isolationsfilm macht die Substratoberfläche flachund erleichtert ein folgendes Verfahren der Ausbildung eines genauenMusters (pattern). Der planierende Isolationsfilm 106 kannaus irgendeinem im Stand der Technik bekannten Material gebildet werden;er wird vorzugsweise aus anorganischem Oxid oder Nitrid oder Polyimidoder Acrylharz gebildet.
    [0027] Die erste Elektrode 108 kannentweder eine Anode oder ein Kathode sein. Wenn die erste Elektrode eineAnode ist, wird ein Material mit großer Arbeitsfunktion verwendet,um wirksam Löcherzu injizieren. Eine üblicheorganische EL-Vorrichtung, in der Licht gewöhn lich durch eine Anode emittiertwird, benötigteine transparente Anode, die beispielsweise aus leitendem MetalloxidITO hergestellt ist. Obgleich eine erste Elektrode einer organischenEL-lichtemittierenden Vorrichtung eines Kopfemissionssystems nichtnotwendigerweise transparent sein muß, kann die erste Elektrode 108 dennochaus einen leitenden Metalloxid, beispielsweise ITO oder IZO gebildetsein. Eine erste Elektrode eines leitenden Metalloxids, z.B. ITO,wird vorzugsweise begleitet von einer metallischen Elektrode ausbeispielsweise Al, Ag, Mo, oder W, die eine hohe Reflexion unter derersten Elektrode zeigt. Die Metallelektrode, die einen geringerenspezifischen Widerstand als ein leitendes Metalloxid hat, dientals eine Hilfselektrode. Zusätzlichermöglichtdie Metallelektrode den wirksamen Gebrauch des in einer organischenEL-Schicht 114 erzeugten Lichts, indem das Licht zu einemFarbkonversionsfilter 150 reflektiert wird.
    [0028] Die erste Elektrode, im vorliegendenFall eine Kathode, besteht aus einem Material mit kleiner Arbeitsfunktion,wozu gehörenAlkali-Metalle, wie Lithium, Natrium und Kalium, Erd-Alkali-Metalle,wie Calcium, Magnesium und Strontium, Elektronen-injizierende Metallfluoridedieser Alkali- oder Erd-Alkali-Metalle und Legierungen oder Verbindungender Alkali- oder Erd-Alkali-Metalle. Eine Metallelektrode von Al,Mg, Mo oder W mit hohen Reflexionsvermögen kann auch unter der erstenElektrode als eine Kathode wie im Fall einer Anode vorgesehen seinum niedrigen Leitungswiderstand und wirksame Nutzung des von derorganischen EL-Schicht 110 emittierten Lichts durch Reflexionzu erhalten.
    [0029] Im Fall der aktiven Matrix, die vonden TFTs getrieben wird, wie in 1(a) gezeigt,werden die ersten Elektroden auf dem planierenden Isolationsfilm 106 ineiner voneinander isolierten Form gebildet, welche jedem der TFTs 104 entspricht.Jede erste Elektrode ist mit der Source-Elektrode oder der Drain-Elektrodejedes TFT 104 verbunden. Eine erste, mit der Source-Elektrodeverbundene Elektrode arbeitet als eine Anode, und eine erste mitder Drain-Elektrodeverbunden Elektrode arbeitet als eine Kathode. Die erste Elektrode 108 wird demTFT 104 mit einem leitenden Stopfen verbunden, der einim planierenden Isolationsfilm vorgesehenes Kontaktloch füllt. Derleitende Stopfen kann integral mit der ersten Elektrode 108 ausgebildetoder mit einem gut leitenden Metall wie Gold, Silber, Kupfer, Aluminium,Molybdänoder Wolfram gebildet sein.
    [0030] Eine organische EL-Schicht 110 ineiner organischen EL-Anzeigevorrichtung eines Farbkonversionssystemsgemäß der Erfindungemittiert Licht im Bereich von nahem Ultraviolett bis sichtbaremLicht, vorzugsweise im blauen bis blau-grünen Farbbereich. Das Lichtin diesem Bereich tritt in die Farbkonversionsfilterschicht ein,welche sichtbares Licht mit einer gewünschten Farbe emittiert.
    [0031] Die organische EL-Schicht 110 weistwenigstens eine organische EL-lichtemittierende Schicht auf. Die organischeEL-Schicht kann auch falls notwendig eine Lochinjektionsschicht,eine Lochtransportschicht, eine Elektronentransportschicht und/oderElektroneninjektionsschicht aufweisen. Spezifisch kann die organische EL-Schichteine der folgenden Strukturen haben: (1) eineorganische EL-lichtemittierende Schicht, (2) eine Lochinjektionsschicht / eine organische EL-lichtemittierendeSchicht, (3) eine organischen EL-lichtemittierende Schicht / eine Elektroneninjektionsschicht, (4) eine Lochinjektionsschicht / eine organische EL-lichtemittierendeSchicht / eine Elektroneninjektionsschicht, (5) eine Lochinjektionsschicht / eine Lochtransporischicht /eine organische EL-lichtemittierendeSchicht / eine Elektroneninjektionsschicht, und (6) eine Lochinjektionsschicht / eine Lochtransportschicht /eine organische EL-lichtemittierendeSchicht / eine Elektronentransportschicht / eine Elektroneninjektionsschicht.
    [0032] In den obigen Strukturen ist eineAnode mit einer organischen EL-lichtemittierenden Schicht oder einer Lochinjektionsschichtverbunden und eine Kathode ist mit einer organischen EL-lichtemittierendenSchicht oder einer Elektroneninjektionsschicht verbunden.
    [0033] Ein Material für jede der obigen Schichtenkann ausgewähltwerden aus bekannten Materialien. Um eine blaue bis blau-grüne Farbezu erhalten, enthältdie organische EL-lichtemittierendeSchicht vorzugsweise ein fluoreszierendes Weißmittel (Whitening Agent),wie Benzothiazol, Benzimidazol, oder Benzoxazol, eine Metall-Chelat-Oxoniumverbindung,eine Styrylbenzolverbindung, oder eine aromatische Dimethylidinverbindung.
    [0034] Die zweite Elektrode 112 muß wirksamElektronen oder Löcherin die organische EL-Schicht 110 injizierenund fürden Wellenlängenbereichdes von der organischen EL-Schicht 110 emittierten Lichtstransparent sein. Die zweite Elektrode 112 zeigt vorzugsweiseeine Durchlässigkeitvon mehr als 50 % fürdas Licht im Bereich von 400 bis 800 nm.
    [0035] Wenn die zweite Elektrode eine Kathodeist, muß dasElektrodenmaterial eine kleine Austrittsarbeit haben, um wirksamElektronen zu injizieren. Außerdemmuß diezweite Elektrode transparent fürden Wellenlängenbereichdes von der organischen EL-Schicht emittierten Lichts sein. Um diesezwei geforderten Eigenschaften miteinander zu vereinen, hat diezweite Elektrode 112 vorzugsweise eine aus einer Mehrzahlvon Schichten bestehende Schichtstruktur, da ein Material mit einerkleinen Austrittsarbeit gewöhnlichschlechte Transparenz zeigt. Eine in Berührung mit der organischen EL-Schicht 110 stehendeSchicht ist ein sehr dünner Filmvon weniger als 10 nm eines Alkali-Metalls, wie Lithium oder Natrium,eines Erd-Alkali-Metalls, wie Calcium, Magnesium oder Strontium,eines Elektroneninjizierenden Fluorid dieser Metalle oder eine Legierungoder Verbindung eines dieser Metalle und eines anderen Metalls.Die Verwendung dieser Materialien mit einer kleinen Austrittsarbeitermöglichteine wirksame Elektroneninjektion, und die außerordentlich geringe Dickeunterdrücktdie auf das Elektrodenmaterial zurückzuführende Verschlechterung derTransparenz auf ein Minimum. Ein transparenter leitender Film vonITO oder IZO wird auf dem außerordentlichdünnenFilm gebildet. Der leitende Film arbeitet als eine Hilfselektrodeund verringert den Gesamtwiderstand der zweiten Elektrode 112, wodurchgenügendStrom zur organischen EL-Schicht 110 geliefert werden kann
    [0036] Falls die zweite Elektrode eine Anodeist, hat das Material dieser Elektrode zwangsläufig eine große Austrittsarbeit,um den Wirkungsgrad der Lochinjektion zu erhöhen. Das Material muß hohe Transparenzzeigen, da das von der organischen EL-Schicht 110 emittierteLicht durch die zweite Elektrode geht. Daher ist das Material indiesem Fall vorzugsweise ein transparentes leitendes Material, wieITO oder IZO.
    [0037] In einer durch eine aktive Matrixgetriebenen organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung, wie in 1(a) gezeigt, kann die zweiteElektrode 112 als ein Blatt einer homogenen Elektrode ohneMusterung ausgebildet sein.
    [0038] Eine Passivierungsschicht 114 wirdals Abdeckung der so gebildeten zweiten Elektrode 112 undder Schichten unter der zweiten Elektrode gebildet. Die Passivierungsschicht 114 istwirksam zur Verhinderung des Durchtritts von Sauerstoff, Komponentenmit niedrigem Molekulargewicht und Feuchtigkeit und verhindert eineVerschlechterung der organischen EL-Schicht 110. Die Passivierungsschicht 114 wirdvorzugsweise für denerwähntenZweck vorgesehen, ist jedoch nicht unbedingt erforderlich. Die Passivierungsschicht 114 ist vorzugsweisetransparent fürden Wellenlängenbereichdes von der organischen EL-Schicht 110 emittierten Lichts,da das Licht durch die Passivierungsschicht zu einer Farbkonversionssfilterschichthindurchtritt.
    [0039] Um diese Bedingungen zu erfüllen, bestehtdie Passivierungsschicht 114 aus einem Material, das im sichtbarenLichtbereich hoch transparent ist, d.h. eine Lichtdurchlässigkeitvon mehr als 50 % im Bereich von 400 bis 800 nm hat und elektrischisoliert, als eine Schranke gegen Feuchtigkeit, Sauerstoff und niedermolekulareVerbindungen wirkt und vorzugsweise eine Filmhärte von Bleistifthärte 2H oderhöher hat.Zu den günstigenMaterialien gehörenanorganische Oxide und anorganische Nitride, wie SiOx, SiNx, SiNxOy,AlOx, TiOx, TaOx, und ZnOx. Die Passivierungsschicht kann durchirgendein im Stand der Technik bekanntes Verfahren gebildet werden,einschließlicheiner Sputter-Methode, einer CVD-Methode,einer Vakkum-Abscheidungsmethode, einer Tauchmethode und einer Sol-Gel-Methode.
    [0040] Die Passivierungsschicht kann auchaus verschiedenen Polymermaterialien einschließlich Imid-modifiziertem Silikonharz(Patentdokumente 5 bis 7), Materialien mit anorganischem Metalloxidwie TiO, Al2O3,oder SiO2 dispergiert in Acryl-, Polyimid-oder Silikonharz (Patentdokumente 8 und 9), Acryl-Monomer-/Oligomer-/Polymerharzmit einer reaktiven Vinylgruppe, Resistharze (Patentdokumente 10bis 13), Fluorharze (Patentdokumente 13 und 14), und photo-härtende Harzeund/oder wärme-härtende Harze,wie Epoxyharz mit einer Mesogen-Struktur mit hoher Wärmeleitfähigkeit.Es gibt keine besondere Einschrän kungbei der Anwendung dieser Polymermaterialien. Eine Bildungsmethodekann ausgewähltwerden aus üblicherweiseangewandten trockenen Methode einschließlich Sputtering, Aufdampfenund CVD, und nassen Methoden, einschließlich Schleuderbeschichtung,Walzenbeschichtung und Guß.
    [0041] Die Passivierungsschicht 114 kanneinschichtig sein oder einen Schichtenaufbau haben. Die Dicke der Passivierungsschicht 114 liegtvorzugsweise im Bereich von 0.1 bis 10 μm. (Die Dicke ist eine Gesamtdicke imFall von laminierten Schichten.)
    [0042] Ein zweites Substrat 116 muß für das voneiner Farbkonversionsfilterschicht konvertierte Licht transparentsein. Das zweite Substrat 116 muß gegen Umgebungsbedingungenwie Lösungsmittelund Temperatur im Verfahren zur Bildung einer Farbkonversionsfilterschichtund einer schwazen Maske beständigsein. Das zweite Substrat zeigt vorzugsweise gute Dimensionsstabilität. Das zweiteSubstrat 116 hat vorzugsweise einen Durchlaßgrad vonmehr als 50 % fürdas Licht im Wellenlängenbereichvon 400 bis 800 nm.
    [0043] Zu günstigen Materialien für das zweiteSubstrat 116 gehörenGlas, Polyethylen-Terephthalat-Harz, undPolymethyl-Methacrylat-Harz. Besonders günstig sind Polysilicat-Glas und Blauschicht-Glas.Das zweite Substrat 116 kann ein biegsamer Film aus Polyolefin,Acrylharz, Polyesterharz, oder Polyimidharz sein.
    [0044] In dieser Beschreibung ist „eine Farbkonversionsfilterschicht" ein allgemeinerName fürdie Farbfilterschicht 118, Farbkonversionsschicht 120 undeine Schichtung einer Farbfilterschicht 118 und einer Farbkonversionsschicht 120.
    [0045] Die Farbkonversionsschicht 120 absorbiertLicht im Bereich des nahen Ultraviolett bis sichtbares Licht, besondersblau bis blau-grünesLicht und konvertiert die Wellenlängenverteilung in sichtbaresLicht mit einer anderen Wellenlänge.Die Farbkonversionsschicht 120 kann aus einem Materialgebildet sein, das einen Farbkonversionsfarbstoff aus einem im Standder Technik bekannten fluoreszierenden oder phosphoreszierenden Farbstoffin einer Kunstharzmatrix dispergiert enthält. Das Matrixkunstharz kannirgendein im Stand der Technik bekanntes Kunstharz sein.
    [0046] Eine Farbfilterschicht 118 kannaus einem Material gebildet sein, das einen im Stand der Technikbekannten Farbstoff dispergiert in einem Matrixkunstharz enthält. (EinBeispiel eines solchen Materials ist ein Farbfiltermaterial für Flüssigkristallanzeigen.)
    [0047] Um eine volle Farbanzeige zu erhalten,sollten wenigstens drei Farbkonversionsfilterschichten vorhandensein: eine fürblaue Farbe (B), eine fürgrüne Farbe(G), und eine fürrote Farbe (R).
    [0048] Die Rot-Konversionsfilterschichthat vorzugsweise einen Schichtaufbau aus einer Rot-Konversionsschichtund einer Rot-Filterschicht. Ein Grund für die Schichtstruktur ist wiefolgt. Wenn eine Lichtquelle eine organische EL-Schicht 110 ist,welche das Licht im blauen bis blau-grünen Farbbereich emittiert unddas Licht von der organischen EL-Schicht 110 nur durchein einfaches Rot-Filter geleitet wird, um Licht in einem roten Farbbereichzu erhalten, ist das austretende Licht sehr dunkel, da das Lichtvon der Quelle nur wenig Anteile im Wellenlängenbereich der roten Farbeenthält.Das Ausgangslicht wird zu genügendintensivem roten Licht durch eine Konversion der Wellenlängenverteilungin einer Rot-Konversionsschicht,die das Licht im Bereich von blau bis blau-grün in Licht im Bereich von rotemLicht konvertiert. Die Dicke der Rot-Konversionsschicht 120R beträgt vorzugsweisemehr als 5 μm,und liegt besonders bevorzugt im Bereich von 8 bis 15 μm. Die Dickeder Rot-Filterschicht 118R liegt vorzugsweise im Bereichvon 1 bis 1.5 μm.
    [0049] Eine Grün-Konversionsfilterschichthat vorzugsweise einen Schichtaufbau aus einer Grün-Konversionsschichtund einer Grün-Filterschicht.Wenn das von der organischen EL-Schicht 110 emittierteLicht genügendintensive Grün-Anteileenthält,kann auch nur ein Grün-Farbfilterverwendet werden. Die Dicke der Grün-Konversionsschicht 120 istgrößer als5 μm, vorzugsweiseim Bereich von 8 bis 15 μm.Im Fall eines Schichtaufbaus aus einer Grün-Konversionsschicht und einerGrün-Filterschicht,liegt die Dicke der Grün-Filterschicht 118G vorzugsweiseim Bereich von 1 bis 1.5 μm.Wenn nur eine Grün-Filterschicht 118G verwendet wird,liegt die Dicke der Schicht vorzugsweise im Bereich von 0.5 bis10 μm.
    [0050] Eine blaues Konversionsfilterschichtkann eine Blau-Filterschicht und eine Blau-Konversionsschicht einschließen, diedie Wellenlängenverteilungvon ultraviolettem oder blau-grünemLicht, die von einer organischen EL-Schicht 110 emittiertwerden, konvertiert und blaues Licht abgibt. Wenn die organischeEL-Schicht 110 blaues bis blau-grünes Licht emittiert, wird vorzugsweisenur eine Blau-Filterschicht verwendet. Wenn nur eine Blau-Filterschicht 118B verwendetwird, liegt die Dicke der Schicht vorzugsweise im Bereich von 0.5bis 10 μm.
    [0051] Wenn die organische EL-Schicht 110 weißes Lichtemittiert, könnengewünschteFarben bereits allein durch Farbfilter für die Farben erhalten werden.Dennoch kann die Verwendung von Farbkonversionsschichten für die FarbenLicht der drei Primärfarbenmit höheremWirkungsgrad als die Verwendung von nur Farbfilterschichten liefern.
    [0052] Farbkonversionsfarbstoffe, die inder vorliegenden Erfindung verwendet werden, können zur Herstellung von Pigmentengeknetet werden mit Polymethacrylat, Polyvinylchlorid, Copolymerharzvon Vinylchlorid-Vinylacetat, Alkydharz, aromatisches Sulfonamidharz,Harnstoffharz, Melaminharz, Benzoguanaminharz, oder einer Mischungeiniger dieser Harze. Der Farbkonversionsfarbstoff oder das Farbkonversionspigment ("Farbkonversionsfarbstoff " in der Beschreibungbedeutet irgendeinen der zwei) kann allein oder in Kombination vonzwei oder mehr Typen zum Zweck einer Einstellung des Farbtons verwendetwerden.
    [0053] Eine erfindungsgemäße Farbkonversionsschichtenthälteinen organischen Fluoreszenzfarbstoff in einer Menge vorzugsweiseim Bereich von 0.01 bis 5 Gew.-%, mehr bevorzugt im Bereich von0.1 bis 2 Gew.-% bezogen auf die Masse der Konversionsschicht. DurchVerwendung des organischen Fluoreszenzfarbstoffs mit einem Gehaltin diesem Bereich kann eine befriedigende Wellenlängenkonversiondurchgeführtwerden ohne Verringerung des Farbkonversionswirkungsgrades durchden Effekt von Konzentrationslöschung.
    [0054] Die Form der Farbkonversionsfilterschichtkann ein Streifenmuster sein, wobei wie bekannt jede Farbe getrenntist, oder kann statt dessen eine Struktur mit Sub-Pixels haben,die fürjedes Pixel voneinander getrennt sind.
    [0055] Eine schwarze Maske 122 wirdvorzugsweise in jedem Bereich zwischen den jeder Farbe entsprechendenFarbkonversionsfilterschichten vorgesehen. Die Anordnung der schwarzenMaske verhindert, daß Lichtzur Farbkonversionsfilterschicht eines benachbarten Sub-Pixels lecktund macht eine Fluoreszenzkonversionsfarbe verfügbar, die befriedigend undfrei von Unschärfeist. Die schwarze Maske kann auch rings um den Platz der Farbkonversionsfilterschichtauf dem zweiten Substrat 116 vorgesehen sein, solange dieHaftung einer organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung nichtgestörtist. Die schwarze Maske 122 hat vorzugsweise eine Dickeim Bereich von 0.5 bis 2.0 μm.
    [0056] Eine Überbeschichtung 124,welche die Farbkonversionsfilterschicht bedeckt, wird ohne Verschlechterungder Leistung der Farbkonversionsfilterschicht aus einem Materialmit geeigneter Elastizitätgebildet. Ein bevorzugtes Material für diese Überbeschichtung ist ein Polymer,das eine Bleistifthärtevon 2H oder mehr hat. Ein Young-Modul von mehr als 0.3 Mpa erlaubtdie Bildung eines glatten Films auf der Farbkonversionsfilterschicht 120 undverschlechtert nicht deren Leistung. Bevorzugt wird weiterhin einPolymermaterial, das eine hohe Transparenz in einem Bereich dessichtbaren Lichts (Durchlaßgradhöher als50 % im Bereich von 400 bis 800 nm) hat, elektrisch isoliert undals eine Schranke gegen Feuchtigkeit, Sauerstoff und niedermolekulare Komponentendient. Fürdie erwähntenZwecke ist es vorteilhaft, eine Überbeschichtung 124 vorzusehen,obgleich nicht unbedingt erfoderlich.
    [0057] Zu Beispielen solcher PolymermaterialiengehörenImid-modifiziertes Silikonharz (Patentdokumente 5 bis 7), Materialienmit anorganischem Metalloxid, wie TiO, Al2O3, oder SiO2 dispergiertin Acryl-, Polyimid- oder Silikonharz (Patentdokumente 8 und 9),Harze von Acrylat-Monomer/Oligomer/Polymer mit reaktiver Vinylgruppe,Resistharze (Patentdokumente 10 bis 13), Fluorharze (Patentdokumente13 und 14), und photo-härtendeHarze und/oder wärme-härtende Harze,wie Epoxyharz mit einer Mesogen-Struktur mit hoher Wärmeleitfähigkeit.Es gibt keine spezielle Begrenzung bei der Anwendung dieser Polymermaterialienzur Bildung der Überbeschichtung 124.Ein Bildungsverfahren kann ausgewählt werden aus üblicherweiseverwendeten Methoden, wie trockene Methoden, einschließlich Sputtering,Verdampfen und CVD, und nassen Methoden, einschließlich Schleuderbeschichtung,Walzenbeschichtung und Gießen.
    [0058] Die Überbeschichtung 124 kanneine Dicke im Bereich von 1 bis 10 μm haben. Wenn die Überbeschichtung 124 durchein Gießverfahrenoder Schleudergußverfahrengebildet wird, hat die Schicht vorzugsweise eine Dicke im Bereichvon 3 bis 5 μm.
    [0059] Eine Umfangsversiegelungsschicht 130 klebtdie organische EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 und dasFarbkonversionsfilter 150 zusammen. Die Umfangsversiegelungsschichtdient vorzugsweise zum Schutz der inneren, die Vorrichtung aufbauendenElemente gegen Sauerstoff und Feuchtigkeit in der äußeren Umgebung.Das Umfangsversiegelungsmittel 130' soll seine Viskosität nichtverändernund nicht vor dem Härtengelieren. Diese Eigenschaft erlaubt eine Relativbewegung der organischenEL-lichtemittierenden Vorrichtung 160 und des Farbkonversionsfilters 150,wodurch eine genaue Ausrichtung des Farbkonversionsfilters und des lichtemittierndenTeils der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung erleichtertwird.
    [0060] Ein günstiges Umfangsversiegelungsmittel 130' ist in dervorliegenden Erfindung ein durch Ultraviolettbestrahlung härtenderKlebstoff. Ein besonders günstigerKlebstoff dieser Art härtetin 10 bis 60 Sekunden durch Bestrahlung mit Ultraviolettbestrahlungmit einer Energiedichte von 100 mW/cm2,um eine Umfangsversiegelungsschicht 130 zu bilden.
    [0061] Das Härten in der oben angegebenenZeit vermeidet nachteilige Wirkung auf die anderen konstituierendenElemente durch die Ultraviolettbestrahlung und härtet diesen Klebstoff genügend, umeine Umfangsversiegelungsschicht 130 mit der geeignetenBonding-Stärkezu erhalten. Auch aus dem Gesichtspunkt der Leistung des Produktionsprozessesist der oben angegebene Bereich der Härtungsdauer bevorzugt.
    [0062] Das Umfangsversiegelungsmittel 130' kann Glaskugelnoder Siliziumdioxid-Kugeln mit einem Durchmesser im Bereich von5 bis 50 μm,vorzugsweise im Bereich von 5 bis 20 μm enthalten. Die Kugeln regulieren denAbstand zwischen dem ersten Substrat 102 und dem zweitenSubstrat 116 und die Dicke der Füllschicht 128 beimVerfahren des Bonding der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung 160 unddes Farbkonversionsfilters 150. Die Kugeln nehmen den zumBonding angewandten Druck auf. Die Kugeln nehmen auch Spannungenauf im Betrieb der Anzeigevorrichtung, besonders Spannungen im Umfangsabschnitt derAnzeige und sind wirksam zur Vermeidung von Schädigung der Anzeige durch dieSpannung.
    [0063] Das Füllmaterial 128' in der vorliegendenErfindung soll eine inaktive Substanz sein, welche die Leistungender organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung und des Farbkonversionsfiltersnicht nachteiligt beeinflußt.Man härtetdas Füllmaterial 128' oder erhöht seineViskositätdurch Einwirkungen wie UV, sichtbares Licht oder Wärme nachdem Kleben unter Druck. Das Härtenoder der Viskositätsanstiegder Füllschicht 128, welcheden Innenraum nach der Druckverklebung ausfüllt, stabilisiert die Strukturder erhaltenen Anzeigevorrichtung.
    [0064] Das Füllmaterial 128' in der vorliegendenErfindung hat vorzugsweise eine größere Oberflächenspannung als die des Materialsan der Stelle, wo es aufgebracht wird, einer Überbeschichtung oder einerFarbkonversionsfilterschicht. Die Verwendung eines Füllmaterialsmit einer solchen Oberflächenspannungverhindert, daß essich überden ganzen Raum ausbreitet, wo es nach einem Aufbringverfahren beispielsweiseunter Verwendung eines Dispensers aufgebracht wird. So kann dieHandhabungsqualitätverbessert werden. Das Füllmaterialhat in der vorliegenden Erfindung vorzugsweise eine Oberflächenspannunggrößer als0,030 N/m.
    [0065] Das Füllmaterial 128' muß eine geeigneteViskositäthaben, um eine Füllschicht 128 zubilden, indem das Füllmaterialsich bei Anwendung von Druck im Verfahrenschritt des vorläufigen Anklebensohne irgendeine Schädigungdes Farbkonversionsfilters oder der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung überden gesamten zu füllendenInnenraum ausbreitet. Das Füllmaterialin der vorliegenden Erfindung hat vorzugsweise eine Viskosität im Bereichvon 0,05 bis to 5 Pa-s. Das Füllmaterialhat auch günstigerweiseeinen Elastizitätswertim Bereich von 0,5 bis 5 MPa. Ein Füllmaterial mit einer solcheElastizitätverhindert, daß beieiner nach dem erfindungsgemäßen Verfahrenhergestellten organischen EL-Anzeigevorrichtungdurch auf die Anzeigevorrichtung wirkende äußere Spannung die organischeEL-lichtemittierende Vorrichtung oder das Farbkonversionsfilterbeschädigtwerden. Wenn eine Substanz, deren Viskosität sich bei der Härtungsreaktionerhöht,für dasFüllmate rialverwendet wird, soll die Elastizität erwünschterweise nach dem Härten oderder Viskositätssteigerungim oben angegebenen Bereich liegen.
    [0066] Das in der Anzeigefläche derorganischen EL-Anzeigevorrichtung angeordnete Füllmaterial muß einen Durchlaßgrad für sichtbaresLicht im Bereich von 20 % bis 95 %, vorzugsweise 60 % bis 95 % für das Lichtmit der Wellenlängevon 400 bis 800 nm aufweisen. Ein Durchlaßgrad für sichtbares Licht in einemsolchen Bereich ermöglichteine wirksame Transmission des Lichts von der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung durch die Füllstoffschicht 128 zumFarbkonversionsfilter. Weiterhin ist erwünscht, daß das erfindungsgemäße Füllstoffmaterialein Brechungsindex im Bereich von 1,2 bis 2,5 hat. Ein Brechungsindexin einem solchen Bereich unterdrücktdie Reflexion an der Grenzflächezwischen der Füllstoffschicht 128 undder organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung 160 undder Grenzflächezwischen der Füllstoffschicht 128 unddem Farbkonversionsfilter 150. Wenn eine Substanz, derenViskositätdurch Reaktionshärtungansteigt, fürdas Füllmaterialverwendet wird, müssender Durchlaßgradfür sichtbaresLicht und der Brechungsindex nach dem Härten oder der Viskositätssteigerungin den oben angegebenen Bereichen liegen.
    [0067] Zu Beispielen der in der Erfindunggeeignet verwendbaren FüllstoffegehöreUV-härtende Harze,wärme-härtende Harze,fluor-haltige inaktive Flüssigkeitund Fluoröl.Zu den wärme-härtendenHärzengehören Silikonharze,die durch Erhitzen gelieren. Zu günstigen Füllmaterialien in der vorliegendenErfindung gehören dieSilikonharze.
    [0068] Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellungeiner organischen EL-Anzeigevorrichtung,wobei die organische EL-lichtemittierende Vorrichtung und das Farbkonversionsfiltermiteinander gebondet werden, wird mit Bezug auf die 1 und 2 beschrieben. 2 zeigt als Fließbild dieSchritte beim erfindungsgemäßen Verfahrenzur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung.
    [0069] Zuerst folgt eine Vorwärmbehandlungdes Farbkonversionsfilters. Ein Zweck derselben ist es, an der Oberfläche desFarbkonversionsfilters adsorbiertes Wasser zu entfernen. Die Vorwärmbehandlungmuß beieiner Temperatur durchgeführtwerden, die keine Zersetzung der Farbkonversionsfarbstoffe in derFarbkonversionsschicht verursacht. Die Vorwärmtemperatur liegt unter 200° C, vorzugsweiseim Bereich von 80° Cbis 180° C,besonders bevorzugt im Bereich von 100° C bis 150° C. Durch Erwärmen beieiner Temperatur im angegebenen Bereich während 20 bis 60 Minuten kanndas Wasser an der Oberflächedes Farbkonversionsfilters entfernt werden. Die Vorwärmbehandlungkann durchgeführtwerden, indem man irgendein bekanntes Mittel verwendet, einschließlich einesOfens entweder von Strahlungstyp oder Ventilationstyp. Nach demErwärmen wirdder Farbkonversionsfilter vorzugsweise sogleich in seinem Zustandwie erwärmtin eine Umgebung gebracht, in der die Konzentrationen von Wasserund Sauerstoff kontrolliert sind. Der Transfer in eine solche Umgebungkann durch irgendein geeignetes im Stand der Technik bekanntes Mittelgesteuert werden, welches in der vorliegenden Erfindung „eine Tranfervorrichtungfür einFarbkonversionsfilter" darstellt,wie eine Fördervorrichtungoder ein Manipulator.
    [0070] Eine Umgebung, in der die Konzentrationenvon Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind, worauf sich die vorliegendeErfindung bezieht, bedeutet eine Umgebung, in der die Konzentrationenvon Wasser und Sauerstoff auf niedrige Werte eingestellt sind. Einesolche Umgebung kann beispielsweise innerhalb eines Handschuhkastens(glove box) erhalten werden. Die in einer solche erfindungsgemäßen Umgebungkontrollierte Wasserkonzentration liegt vorzugsweise unter 50 ppm,besonders bevorzugt unter 10 ppm, und am meisten bevorzugt bei nichtmehr als 1 ppm. Die in der Umgebung kontrollierte Sauerstoffkonzentrationliegt auch vorzugsweise unter 50 ppm, mehr bevorzugt unter 10 ppm,und ist am meisten bevorzugt nicht höher als 1 ppm. Der sofortigeTransfer des Farbkonversionsfilters noch im erwärmten Zustand in eine solcheUmgebung verhindert die Readsorbtion von Wasser an der Farbkonversionsfilteroberfläche undverhindert, daß einUmfangsversiegelungsmittel und ein Füllstoffmaterial durch Wasseroder Sauerstoff kontaminiert werden. Zum Umfangsversiegelungsmittelund dem Füllstoffmaterialfolgen weitere Beschreibung.
    [0071] Als nächstes wird das Umfangsversiegelungsmittel 130' auf den Umfangsteildes Farbkonversionsfiltes in einem Handschuhkasten aufgebracht.Das Aufbringen des Umfangsversiegelungsmittels 130' kann unterVerwendung irgendeiner geeigneten, im Stand der Technik bekanntenVorrichtung, beispielsweise einer Dispenser-Vorrichtung, durchgeführt werden,die in der vorliegenden Erfindung „eine Aufbringvorrichtungfür dasUmfangsversie gelungsmittel" darstellt.Das Umfangsversiegelungsmittel 130' wird in der Erfindung ohne irgendeine Öffnung aufgebracht,um die Anzeigeflächedes Farbkonversionsfilters vollständig zu umgeben, welche dieFlächeist, auf der die Farbkonversionsschicht liegt, d.h. die Anzeigefläche derorganischen EL-Anzeigevorrichtung, in der die lichtemittierendeFlächeder organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung ausgerichtet ist.
    [0072] Dann wird das Füllstoffmaterial 128' auf der Anzeigefläche desFarbkonversionsfilters durch irgendeine geeignete, im Stand derTechnik bekannte Vorrichtung, wie einen Dispenser, aufgebracht,die „eineAufbringvorrichtung fürdas Füllstoffmaterial" bildet. Eine geeigneteMenge des Füllstoffmaterialsentspricht günstigerweisedem von diesem zu füllendenInnenraum und kann vom Fachmann leicht bestimmt werden.
    [0073] 1(b) zeigtein Farbkonversionsfilter 150 nach Durchführung deroben beschriebenen Schritte. Das Farbkonversionsfilter 150 wirddann in eine Vakuumkammer im Handschuhkasten transferiert. Der Transferzur Vakuumkammer kann durch irgendeine geeignete Vorrichtung, wieeinen im Stand der Technik bekannten Manipulator durchgeführt werden,die einen Teil einer „erstenTransfervorrichtung" inder vorliegenden Erfindung darstellt. Auf der anderen Seite wirddie organische EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 indie Umgebung transportiert, in der die Konzentrationen von Wasserund Sauerstoff kontrolliert sind und anschließend in die Vakuumkammer transferiert.Die organische EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 kannin die Umgebung, wo die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert sind, durch eine Vorrichtung transportiert werden, welche „eine Transportvorrichtungfür dieorganische EL-lichtemittierende Vorrichtung" ähnlichder Vorrichtung fürdas Farbkonversionsfilter darstellt. Der Transfer der organischenlichtemittierenden Vorrichtung in die Vakuumkammer kann auch durcheine Vorrichtung vorgenommen werden, die einen Teil einer erfindungsgemäßen „erstenTransfervorrichtung" ähnlich derVorrichtung fürdas Farbkonversionsfilter ist.
    [0074] Die in der Erfindung verwendete Vakuumkammerkann von irgendeinem Typ sein, in der Verringerung und Erhöhung desgesamten Drucks zu jeder Zeit des Transfers durchgeführt werden.Jedoch ist die Vakuumkammer vorzugsweise mit einem Hauptraum für die Manipulationund einem oder mehreren Nebenräumen versehen,wo der Druck unabhängigvom Hauptraumdruck kontrolliert werden kann, zur Verwendung für Transfer,um die Umgebung in der Kammer höchstmöglich aufrechtzuerhaltenund den Durchsatz des Herstellungsverfahrens zu erhöhen.
    [0075] Die Evakuierung wird nach dem Transferdes Farbkonversionsfilters 150 und der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung 160 vorgenommen. Der Enddruck wird reguliertdurch das Gleichgewicht zwischen dem Effekt der Herabsetzung desGehalts an Wasser und Sauerstoff in dem zwischen den zwei Substraten verbliebenenRaum und der Verdampfungsrate von niedermolekularen Stoffen ausdem Füllstoffmaterialund dem Umfangsversiegelungsmittel. Die Vakuumkammer wird vorzugsweisebis hinab auf 1 Pa evakuiert. Im Fall eine Vakuumkammer mit Nebenraum(-räumen)verwendet wird, werden das Farbkonversionsfilter 150 unddie organische EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 inden Nebenraum (in die Nebenräume)bei einem Atmosphärendruckgebracht, und der Nebenraum (die Nebenräume) werden dann auf den gleichenDruck wie im Hauptraum evakuiert. Nachdem die Drücke im Nebenraum (in den Nebenräumen) undim Hauptraum ausgeglichen sind, werden der Farbkonversionsfilter 150 unddie organischen EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 inden Hauptraum transferiert und die im folgenden beschriebenen Verfahrensschrittedurchgeführt.
    [0076] Da das Umfangsversiegelungsmittelund das Füllstoffmaterialin eine Umgebung gebracht wurden, wo die Konzentrationen an Wasserund Sauerstoff kontrolliert sind, besteht im wesentlichen keineGefahr, daß sie Wasseroder Sauerstoff adsorbieren oder einschließen, im Vergleich mit der Handhabungin einer Umgebung von gewöhnlicherLuft. Zusätzlichwerden Wasser oder Sauerstoff, die möglicherweise in Spurenmengenadsorbiert wurden, weiter entfernt, da das Umfangsversiegelungsmittelund das Füllstoffmaterialbeim erfindungsgemäßen Verfahrenin ein Vakuum gebracht werden. Daher vermeidet das erfindungsgemäße Verfahren sehrwirksam eine Adsorbtion und Einschluß von Wasser und Sauerstoffam peripheren Versiegelungsmittel und dem Füllstoffmaterial im Vergleichmit der Handhabung in einer Umgebung von gewöhnlicher Luft.
    [0077] Nach der Evakuierung werden das Farbkonversionsfilter 150 unddie organische EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 gleichzeitigmit der vorläufigenAusrichtung zusammen gebondet. Das Verkleben in dieser Stufe istein vorläufigesKleben vor dem Härtendes Umfangsversiegelungsmittels. Die Vor-Ausrichtung kann durchgeführt werden,indem eine Hal tevorrichtung des ersten Substrats 102 undeine Haltevorrichtung des zweiten Substrats 116 positioniertwerden. Die Genauigkeit der Vor-Ausrichtung wird reguliert durchein Gesichtsfeld des optischen Detektierelements, das in einer später beschriebenenzweiten oder Endausrichtung verwendet wird. Die Genauigkeit derVor-Ausrichtung liegt vorzugsweise bei etwa 1,000 μm, weiterbevorzugt etwa 500 μm.Diese Genauigkeit der Ausrichtung kann mit einem einfacheren Mechanismusals ein Mechanismus fürhochpräziseAusrichtung erreicht werden, der in der Herstellung von Flüssigkristallanzeigevorrichtungenverwendet wird, wodurch die Ausrüstungskostenund damit die Gesamtproduktionskosten verringert werden. Nach derVor-Ausrichtungunter Verwendung eines Gerätszur Bewegung des einen oder anderen des Farbkonversionsfilters 150 oderder organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung durch das in dervorliegenden Erfindung ein Teil einer „Verbindungsvorrichtung" bildenden Gerät werdendas Farbkonversionsfilter 150 und die organische EL-lichtemittierendeVorrichtung 160 ungefährparallel zueinander in Berührunggebracht und durch irgendeine im Stand der Technik bekannte Vorrichtungwie eine Klammer fixiert. In der Stufe des vorläufigen Klebens muß wenigstensdas Umfangsversiegelungsmittel 130' das erste Substrat 102 aufdem gesamten Umfang berühren,da sonst in der nächstenStufe der Druckerhöhungauf einen Atmosphärendruck Gasin den Innenraum eintreten würdeund Blasen dort verbleiben würden.
    [0078] Das Aggregat, das vorläufig geklebtund mit einer Klammer fixiert ist, wird in einem Handschuhkasten ineiner Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert sind, auf einen Atmosphärendruck gebracht. Es kanndie ganze Vakuumkammer unter Druck gesetzt werden oder das Aggregatwird in einen Nebenraum der Vakuumkammer transferiert, und nur derNebenraum wird unter Druck gesetzt. Der Druck wird vorzugsweiseim Verlauf von 5 bis 70 Minuten auf Atmosphärendruck erhöht, um eineBeschädigungdes Aggregats besonders am Umfangsversiegelungsmittel zu vermeiden.Im Verfahren des Unterdrucksetzens werden das erste Substrat 102 unddas zweite Substrat 116 in ihrer Dickenrichtung gepreßt. Luftblasenbei verringertem Druck, die womöglichgefangen blieben, würdenverschwinden, und der Innenraum völlig mit dem Füllstoffmaterial 128' gefüllt, umeine Füllstoffschicht 128 zubilden. Da das Aggregat im erfindungsgemäßen Verfahren offen zu einerUmgebung ist, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert sind, werden Wasser und Sauerstoff in dem Verfahrender Druckerhöhungnicht am ungehärtetenUm fangsversiegelungsmittel 130' adsorbiert. Daher zeigt eine organischeEL-Anzeigevorrichtung eine längereLebensdauer als Anzeigevorrichtungen, die in einer Umgebung vongewöhnlicherLuft hergestellt wurden.
    [0079] Nach dem Öffnen auf den Atmosphärendruckwird das Aggregat aus der Vakuumkammer oder dem Nebenraum der Vakuumkammerzu einem Platz eines Arbeitsraums einer Umgebung, wo die Konzentrationen anWasser und Sauerstoff kontrolliert sind, transferiert, wobei dieUmgebung in einem Handschuhkasten gebildet ist und ein Manipulatoroder eine Fördervorrichtungverwendet werden, welche „einezweite Transfervorrichtung" darstellen.Die Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert werden und die fürdie Aufbringung des Umfangsversiegelungsmittels verwendet wird,und die Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert werden und die fürdie unten beschriebene zweite oder Endausrichtung verwendet wird,könnenin der Erfindung ein und dieselbe Umgebung, oder von zwei getrenntenUmgebungen gebildet sein.
    [0080] Dann wird die zweite oder Endausrichtungdes Farbkonversionsfilters und der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung in einem Arbeitsraum in einer Umgebung durchgeführt, inder die Konzentration von Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind(die Umgebung kann in einem Handschuhkasten eingerichtet sein).Die Genauigkeit der Ausrichtung wird vorzugsweise mit einem Fehlervon nicht mehr als 3 μm,mehr bevorzugt nicht mehr als 1 μmvorgenommen, um eine hohe Anzeigequalität zu erreichen. Zu einer Vorrichtungfür die zweiteAusrichtung gehörtein optisches Detektionselement, beispielsweise CCD und eine Vorrichtungzur zweidimensionalen und Relativbewegung entweder des einen oderanderen des ersten und zweiten Substrats. Die Ausrichtung wird durchgeführt unterVerwendung von Ausrichtungsmarken, die am ersten und zweiten Substratgebildet sind Danach wird die Druckverklebung unter Verwendung vonbeispielsweise einer Druckplatte durchgeführt und die Struktur des Aggregatswird stabilisiert. Die Stabilisierung der Aggregatstruktur bedeutet,daß eineHandhabung ohne Abweichung von der Ausrichtung möglich ist, selbst wenn einTrag- und Haltewerkzeug, wie eine Klammer nicht verwendet wird.Druckverkleben wird beim erfindungsgemäßen Verfahren vorzugsweiseauf einem Arbeitsplatz durchgeführt,der fürdie Endausrüstungverwendet wird. Im Schritt des Druckver klebens wird vorzugsweiseein Druck von etwa 0,5 MPa entsprechend der Fläche des Aufbringens des Umfangsversiegelungsmittelsausgeübt.
    [0081] Schließlich wird das Umfangsversiegelungsmittelgehärtetdurch Ultraviolettbestrahlung, um eine Umfangsversiegelungsschicht 130 zubilden. Die Ultraviolettbestrahlung kann unter Verwendung einerim Stand der Technik bekannten Vorrichtung, wie einer Ultraviolettlampedurchgeführtwerden, welche in der vorliegenden Erfindung „eine Vorrichtung zur Ultraviolettbestrahlung" darstellt, je nachdem Typ des verwendeten Umfangsversiegelungsmittels. Die Ultraviolettbestrahlungerfolgt vorzugsweise beispielsweise mit einer Beleuchtungsstärke von100 mW/cm2 während 30 Sekunden.
    [0082] Nach oder gleichzeitig mit dem Härten desUmfangsversiegelungsmittels kann die Füllstoffschicht 128 zum Härten oderzur Viskositätssteigerungbehandelt werden. Im Fall eines Füllstoffmaterials aus thermo-härtendemHarz oder Silikonharz kann Erhitzen das Härten, die Viskositätssteigerungoder Gelierung bewirken. Im Fall eines Füllstoffmaterials aus UV-härtendemHarz kann das Härtenoder die Viskositätssteigerungdurchgeführtwerden, indem man es zusammen mit dem Umfangsversiegelungsmittelder Ultraviolettbestrahlung aussetzt.
    [0083] Die obige Beschreibung bezieht sichauf eine Anzeigevorrichtung mit aktiv angetriebener Matrix, die einTFT als ein Schaltelement verwendet. Das Schaltelement kann jedochirgendein geeignetes Element sein, wie ein im Stand der Technikbekanntes MIM (Metall-Isolator-Metall-Vorrichtung).Das erfindungsgemäße Verfahrenkann auch angewandt werden auf eine Anzeigevorrichtung mit passivangetriebener Matrix.
    [0084] Im Fall der Anzeigevorrichtung mitpassiv angetriebener Matrix wird eine erste Elektrode 108 bestehendaus einer Mehrzahl von in einem Linienmuster unterteilten Teilenauf dem ersten Substrat 102 gebildet, ohne daß TFTs 104 undein planierender Isolatorfilm 106 gebildet werden. Dieerste Elektrode kann auch in diesem Fall entweder als eine Anodeoder eine Kathode verwendet werden. Die zweite Elektrode 112 wird auchin einer Mehrzahl von Teilen in einem Linienmuster unterteilt, dassich in einer Richtung senkrecht zum Linienmuster der ersten Elektrode 108 erstreckt.Ein Ausrichtungsschritt positioniert eine Farbkonversionsfilterschichtan der Stelle, wo sich das Linienmuster der ersten Elektrode unddas Linienmuster der zweiten Elektrode kreuzen.
    [0085] In der vorliegenden Erfindung kannein Farbkonversionsfilter mit zwei oder mehr Anzeigeteilen verwendetwerden und eine organische EL-lichtemittierende Vorrichtung wirdan jeden Anzeigeteil gebondet. 3 zeigteinen Farbkonversionsfilter 210 mit vier Anzeigeteilen 215.In diesem Fall werden das Umfangsversiegelungsmittel 220 unddas Füllstoffmaterial(in der Figur nicht gezeigt) an dem Umfang jedes Anzeigeteils aufgebracht.Anschließendwird jedes Anzeigeteil an eine organische EL-lichtemittierende Vorrichtunggebondet, ausgerichtet und mit UV bestrahlt, um das Umfangsversiegelungsmittelzu härten.Danach wird das Substrat längsder Schnittlinie 230 geschnitten, um eine Mehrzahl von organischenEL-Anzeigevorrichtungen zuerhalten.
    [0086] Im oben beschriebenen Verfahren werdendas Umfangsversiegelungsmittel und das Füllstoffmaterial in einer Umgebungaufgebracht, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert sind. Statt dessen kann der Aufbringungsschritt ineiner Vakuumkammer durchgeführtwerden, die in einer Umgebung bereitgestellt ist, in welcher dieKonzentrationen an Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind. In diesemFall wird das Farbkonversionsfilter, das nach der Vorwärmbehandlungin eine Handschuhkastenumgebung transportiert wird, wo die Konzentrationenan Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind, unmittelbar in die Vakuumkammer transferiert,in der das Umfangsversiegelungsmittel und das Füllstoffmaterial unter Verwendungeiner Abgabevorrichtung (Dispenser), die in der Vakuumkammer installiertist, aufgebracht werden. Die Schritte nach dem Schritt des vorläufigen Bondingmit einer organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung, die getrennteingetragen wird, könnenin ähnlicherWeise wie beim oben beschriebenen Verfahren durchgeführt werden.
    [0087] 4 zeigtschematisch den konstruktiven Aufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtungzur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung. Jede obenbeschriebene Vorrichtung ist vorzugsweise mit einem Steuergerät verbunden.Jede Vorrichtung in der Konstruktion der Herstellungsvorrichtungwird gemäß der imSteuergerätgespeicherten Sequenz und entsprechend den von jeder Vorrichtungdem Steuergerätgelieferten Signalen gesteuert.
    [0088] Auf einem transparente Glassubstratwurden schichtweise eine schwarze Maske von 1,5 μm Dicke, Farbfilterschichtenfür rote,grüne undblaue Farbe, je mit einer Dicke von 1,5 μm, und Farbkonversionsschichtenfür roteund grüneFarbe je mit einer Dicke von 10 μmaufgebracht. Durch Schleuderbeschichtung (spin-coating) wurde einPhotoresist auf Novolak-Harz-Basis(ZPN1100, Hersteller: ZEON Corporation, Japan) als eine Überbeschichtung 124 miteiner Dicke von 5 μmunter Verwendung einer Photolithographie-Methode als eine Überschicht 124 aufgebracht,um ein Farbkonversionsfilter 150 zu erhalten. Jede Farbfilterschichtund jede Farbkonversionsschicht hat eine Abmessung von 85 μm × 295 μm. An vierPunkten auf dem Substrat wurden Ausrichtungsmarken angebracht.
    [0089] Der Farbkonversionsfilter 150 wurdedann in einen Handschuhkasten transportiert, in welchem die Wasserkonzentrationauf 1 ppm und die Sauerstoffkonzentration auf 1 ppm geregelt waren.Ein Umfangsversiegelungsmittel 130' aus einem Ultraviolett-härtendenKlebstoff (30Y-437, Hersteller: Three Bond Co., Ltd.) mit dispergiertenAbstandskörpernmit einem Durchmesser von 20 μmwurde auf einem Umfang eines zweiten Substrats 116 desFarbkonversionsfilters unter Verwendung eines Auftragroboters aufgetragen.Füllstoffmaterial 128' aus transparentemSilikonharz (TSE3051 geliefert von GE Toshiba silicone Co. Ltd.)wurde unter Verwendung des Abgaberoboters in einer Menge von 100% des berechneten Volumens des Innenraums aufgetragen, der von denauf der Überbeschichtung 124 gebondetenVorrichtung gebildet wird. Da das transparente Silikonharz eineOberflächenspannungvon 0,04 N/m und die Überbeschichtungsschichteine Oberflächenspannungvon 0,0250 N/m hatte, dehnte sich das transparente Silikonharz nicht über denFarbkonversionsfilter aus und nahm eine Tropfenform an, wie in 1(b) gezeigt.
    [0090] Andererseits wurde eine organischeEL-lichtemittierende Vorrichtung wie in 1(a) gezeigt erhalten, indem man derReihe nach TFTs, eine Anode, eine organische EL-Schciht, eine Kathode,und eine Passivierungsschicht auf einem Glassubstrat ausbildete.Die Anode wurde in Abschnitte von je einer längeren Seite von 300 μm und einerkürzerenSeite von 90 μmunterteilt und in einer Matrixform angeordnet. Der Abstand zwischenden unterteilten Abschnitten wurde bestimmt durch eine Teilung von330 μm inRichtung der längeren Seite undvon 110 μmin Richtung der kürzerenSeite. Markierungen wurden auch auf der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung 160 vorgesehen entsprechend dem Farbkonversionsfilter.Die organische EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 wurdein einen Handschuhkasten transportiert, in welchem die Wasserkonzentrationauf 1 ppm und die Sauerstoffkonzentration auf 1 ppm geregelt waren.
    [0091] Das Farbkonversionsfilter 150 unddie organische EL-lichtemittierende Vorrichtung 160 wurdenin eine Vakuumkammer transferiert, die dann auf 1 Pa evakuiert wurde.Das Farbkonversionsfilter 150 und die organische EL-lichtemittierendeVorrichtung 160 wurden vorübergehend verbunden, um einAggregat zu bilden, währendeine vorläufigeAusrichtung unter Verwendung der Ausrichtungsmarkierungen vorgenommenwurde. Das Aggregat wurde mit einer Klemme befestigt. Die Genauigkeitder Ausrichtung hatte einen Fehler von 500 μm.
    [0092] Der Druck in der Vakuumkammer wurdein 5 Minuten unter Verwendung von N2-Gas, das auf eine Wasserkonzentrationvon 1 ppm und Sauerstoffkonzentration von 1 ppm kontrolliert war,auf Atmosphärendruckerhöht.Das Aggregat wurde aus der Vakuumkammer in eine Umgebung transferiert,in der die Wasserkonzentration auf 1 ppm und die Sauerstoffkonzentrationauf 1 ppm kontrolliert waren, und die zweite oder Endausrichtungwurde unter Verwendung eines CCD durchgeführt. Die Genauigkeit der Endausrichtungzeigte einen Fehler von 3 μm.Nach der Endausrichtung wurde das Aggregat mit einem Druck von 0,5MPa druckverklebt und die Klammer wurde entfernt.
    [0093] Anschließend wurde das Umfangsversiegelungsmittelunter Verwendung einer UV-Lampedurch Ultraviolettbestrahlung mit einer Intensität von 100 mW/cm2 während 30Sekunden gehärtet,um eine Umfangsversiegelungsschicht 130 zu bilden. Schließlich wurdeeine Wärmebehandlungbei 80° Cwährend60 Minuten vorgenommen, um das transparente Silikonharz zu gelieren.Es wurde so eine organische EL-Anzeigevorrichtung erhalten.
    [0094] Eine organische EL-Anzeigevorrichtungwurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt, außer daß eine fluorhaltigeinaktive Flüssigkeit,die keiner Härtungsreaktiondurch Erwärmenunterliegt (Flourinat FC-43, geliefert von Sumitomo 3M Limited,Japan) anstelle des transparenten Silikonharzes (TSE3051, geliefertvon GE Toshiba silicone Co. Ltd.) verwendet und die Wärmebehandlungbei 80° Cfür 60Minuten nicht durchgeführtwurde. Die fluorhaltige inaktive Flüssigkeit hatte eine Oberflächenspannungvon 0,033 N/m.
    [0095] Eine organische EL-Anzeigevorrichtungwurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt, außer daß die Verfahrensschritte,die im Beispiel 1 in der Handschuhkammer vorgenommen wurden, wodie Wasserkonzentration auf 1 ppm und die Sauerstoffkonzentrationauf 1 ppm geregelt waren, im Vergleichsbeispiel 1 in einer Umgebungvon gewöhnlicherLuft durchgeführtwurde.
    [0096] Eine organische EL-Anzeigevorrichtungwurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt, außer daß die vorläufige Ausrichtungund das vorläufigeBonding des Farbkonversionsfilters und der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung in einem Handschuhkasten bei Atmosphärendruck statt in der Vakuumkammerdurchgeführtwurden.
    [0097] Eine organische EL-Anzeigevorrichtungwurde in der gleichen Weise wie im Vergleichsbeispiel 2 hergestellt,außerdaß dieVerfahrensschritte, die im Handschuhkasten durchgeführt wurden,wo die Wasserkonzentration auf 1 ppm und die Sauerstoffkonzentrationauf 1 ppm geregelt waren, im Vergleichsbeispiel 3 in einer gewöhnlichenLuftumgebung durchgeführtwurden.
    [0098] Die organischen EL-Anzeigevorrichtungendes Beispiels 1 und der Vergleichsbeispiele 1 bis 3 wurden bewertethinsichtlich Bildung von Blasen, Lichtstärke vor und nach kontinuierlichem1,000 Stunden Betrieb und Auftreten von dunklen Flecken (Spots).Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt. Die angegebenen Leuchtdichte(Luminanz)-Wertesind die Werte bezogen auf den als 100 angenommenen Anfangswertder organischen EL-Anzeigevorrichtungdes Beispiels 1. Wie Tabelle 1 zeigt sind die Ergebnisse für das Beispiel1 besser als die Ergebnisse der Vergleichsbeispiele.
    [0099] Wie oben beschrieben kann eine organischeEL-Anzeigevorrichtung mit wesentlich höherer Lebensdauer als einenach einem üblichenHerstellungsverfahren hergestellte Vorrichtung nach einem erfindungsgemäßen Verfahrenhergestellt werden, wobei ein Umfangsversiegelungsmittel und einFüllstoffmaterialin einer Umgebung aufgebracht werden, in der die Konzentrationenvon Wasser und Sauerstoff geregelt sind und das Farbkonversionsfilterund die organische EL-lichtemittierende Vorrichtung in einer Vakuumkammerverbunden werden, die in die Umgebung gebracht ist. Da der Klebverbindungsvorgangin einer evakuierten Umgebung ausgehend von einer N2-Gasumgebung,worin die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind,vorgenommen wurde, sind die Mengen an N2-Gas,Wasser und Sauerstoff in der organischen EL-Anzeigevorrichtung erheblichverringert. Die Evakuierung auf 1 Pa verringert jede Menge auf 1/106 der Menge bei Atmosphärendruck. Daher kann die Lebensdauerder Vorrichtung wesentlich gesteigert werden.
    [0100] Außerdem, da die zweite oderEndausrichtung mit hoher Präzisionbei dem erfindungsgemäßen Verfahrenbei Atmosphärendruckdurchgeführtwird, sind teure und komplizierte Geräte zur genauen Ausrichtung ineiner Vakuumkammer nicht erforderlich. Daher sind die Kosten für die Herstellungsanlageund die Gesamtherstellungskosten verringert.
    [0101] Weiterhin, da das Füllstoffmaterialden Innenraum in der organischen EL-Anzeigevorrichtung ausfüllt, wirddas Licht von der organischen EL-Schicht wirksam an die Farbkonversionsfilterschicht übertragen.
    [0102] 1 istein schematischer Querschnitt einer organischen EL-Anzeigevorrichtung,die nach einer Methode des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestelltist. In der Figur zeigen (a) eine organische EL-lichtemittierendeVorrichtung 160, (b) ein Farbkonversionsfilter 150,und (c) eine organische EL-Anzeigevorrichtung 140,die durch Bonding des Farbkonversionsfilters 150 und derorganischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung 160 hergestelltist.
    [0103] 2 zeigtim FließbildSchritte in einem Verfahren zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtunggemäß der Erfindung.
    [0104] 3 erläutert einerfindungsgemäßes Verfahrenzur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung zur Verwendungeines Farbkonversionsfilters mit einer Mehrzahl von Anzeigeteilen.
    [0105] 4 zeigtim Blockbild die Konstruktion einer erfindungsgemäßen Vorrichtungzur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung.
    [0106] 5 istein schematischer Querschnitt einer organischen EL-Anzeigevorrichtungnach dem Stand der Technik.
    102,602 erstesSubstrat 104,604 TFT 106 planierendeIsolationsschicht 108 ersteElektrode 110,608 organischeEL-Schicht 112 zweiteElektrode 114 Passivierungsschicht 116,616 zweitesSubstrat 118 Farbfilterschicht 120 Farbkonversionsschicht 122,614 schwarzeMaske 124 Überbeschichtungsschicht 128 Füllstoffschicht 128' Füllstoffmaterial 130 Umfangsversiegelungsschicht 130' Umfangsversiegelungsmaterial 140 organischeEL-Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung 150 Farbkonversionsfilter 160 organischeEL-lichtemittierende Vorrichtung 210 Farbkonversionsfilter 215 Anzeigeteil 220 Umfangsversiegelungsmittel 230 Schnittlinie 600 organischeEL-Anzeige aus dem Stand der Technik 606 Anode 610 Kathode 612 Farbkonversionsfilterschicht 618 Umfangsversiegelungsschicht 620 Innenraum
    权利要求:
    Claims (6)
    [1] Verfahren zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung,welches folgende Verfahrensschritte aufweist: – die organischeEL-lichtemittierende Vorrichtung und das Farbkonversionsfilter werdenin eine Umgebung gebracht, in der die Konzentrationen von Wasserund Sauerstoff kontrolliert sind; – es wird ein Umfangsversiegelungsmittelringförmigrund um das Farbkonversionsfilter aufgebracht; – es wirdein Füllstoffmaterial über derFarbkonversionsfilterschicht und innerhalb des Umfangsversiegelungsmittelsaufgebracht; – dieorganische EL-lichtemittierende Vorrichtung und das Farbkonversionsfilterwerden in eine Vakuumkammer transferiert und die Vakuumkammer wirdevakuiert; – eswird eine vorläufigeAusrichtung der organischen EL-lichtemittierende Vorrichtung unddes Farbkonversionsfilters vorgenommen und die organische EL-lichtemittierendeVorrichtung und das Farbkonversionsfilter werden verbunden, um einAggregat zu erhalten; – dasAggregat wird ausgebracht in eine Umgebung, in der die Konzentrationenvon Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruckist; und – dasAggregat wird mit Ultraviolettstrahlung bestrahlt, um das Umfangsversiegelungsmittelin der Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasserstoff undSauerstoff kontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruckist, zu härten,um eine organische EL-Anzeigevorrichtung zu erhalten.
    [2] Verfahren nach Anspruch 1, mit einem weiteren Verfahrensschritt,worin eine zweite Ausrichtung des Aggregats vor der Stufe der Bestrahlungdes Aggregats mit Ultraviolettbestrahlung durchgeführt wird.
    [3] Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Füllstoffmaterialeine größere Oberflächenspannungals die Oberflächenspannungeiner Oberflächedes Farbkonversionsfilters hat.
    [4] Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Umgebung,in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoff kontrolliertsind, und die Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasser undSauerstoff kontrolliert sind und der Druck bei Atmo sphärendruckliegt, nicht mehr als 50 ppm Wasser und nicht mehr als 50 ppm Sauerstoffenthalten.
    [5] Vorrichtung zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung,wobei die Vorrichtung aufweist: – eine Vorrichtung zum Transportiereneiner organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung, die wenigstens eineerste Elektrode, eine organische EL-Schicht und eine zweite Elektrodeaufweist, die auf einem ersten Substrat angeordnet sind, in eineUmgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoff kontrolliertsind; – eineVorrichtung zum Transportieren eines Farbkonversionsfilters, daswenigstens eine Farbkonversionsfilterschicht auf einem zweiten Substratangeordnet aufweist, in eine Umgebung, in der die Gehalte an Wasser undSauerstoff kontrolliert sind; – eine Vorrichtung zum Aufgingeneines Umfangsversiegelungsmittels rings um das Farbkonversionsfilter; – eine Vorrichtungzum Aufbringen eines Füllstoffmaterials über derFarbkonversionsfilterschicht und innerhalb des Umfangsversiegelungsmittels; – eine ersteVorrichtung zum Transferieren der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung und des Farbkonversionsfilters in eine Vakuumkammer; – eine Verbindungs-Vorrichtungzur Durchführungeiner vorläufigenAusrichtung der organischen EL-lichtemittierenden Vorrichtung unddes Farbkonversionsfilters und zum Verbinden der organischen EL-lichtemittierendenVorrichtung und des Farbkonversionsfilters, um ein Aggregat zu erhalten; – eine zweiteVorrichtung zum Transferieren des Aggregats aus der Vakuumkammerin eine Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruck liegt; und – eine Vorrichtungzur Ultraviolettbestrahlung des Aggregats zum Härten des Umfangsversiegelungsmittelsin der Umgebung, in der die Konzentrationen von Wasser und Sauerstoffkontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruck liegt.
    [6] Vorrichtung zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtungnach Anspruch 5, welche weiter eine Vorrichtung zur Durchführung einerzweiten Ausrichtung des Aggregats in der Umgebung, in der die Konzentrationenvon Wasser und Sauerstoff kontrolliert sind und der Druck bei Atmosphärendruckist, aufweist.
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    DE102004010000B4|2015-11-26|
    JP3865245B2|2007-01-10|
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    US7182664B2|2007-02-27|
    GB2400981A|2004-10-27|
    GB2400981B|2006-03-29|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2007-05-16| 8110| Request for examination paragraph 44|
    2011-08-04| R079| Amendment of ipc main class|Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0051200000 Ipc: H01L0051560000 Effective date: 20110609 Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0021560000 Ipc: H01L0051560000 Effective date: 20110609 Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0051200000 Ipc: H01L0051560000 |
    2011-11-02| R082| Change of representative|Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, DE Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, 28209 BREMEN, DE |
    2011-12-22| R081| Change of applicant/patentee|Owner name: UNIFIED INNOVATIVE TECHNOLOGY, LLC, WILMINGTON, US Free format text: FORMER OWNER: FUJI ELECTRIC HOLDINGS CO., LTD., TOKYO, JP Effective date: 20111102 Owner name: SHARP KABUSHIKI KAISHA, JP Free format text: FORMER OWNER: FUJI ELECTRIC HOLDINGS CO., LTD., TOKYO, JP Effective date: 20111102 |
    2011-12-22| R082| Change of representative|Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB PATENT- UND , DE Effective date: 20111102 Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER PATENT- UND RECH, DE Effective date: 20111102 Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, DE Effective date: 20111102 |
    2012-06-08| R016| Response to examination communication|
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    2012-10-31| R081| Change of applicant/patentee|Owner name: UNIFIED INNOVATIVE TECHNOLOGY, LLC, WILMINGTON, US Free format text: FORMER OWNER: FUJI ELECTRIC CO., LTD., KAWASAKI-SHI, JP Effective date: 20120912 Owner name: UNIFIED INNOVATIVE TECHNOLOGY, LLC, WILMINGTON, US Free format text: FORMER OWNER: FUJI ELECTRIC CO., LTD, KAWASAKI-SHI, JP Effective date: 20120912 Owner name: SHARP KABUSHIKI KAISHA, JP Free format text: FORMER OWNER: FUJI ELECTRIC CO., LTD, KAWASAKI-SHI, JP Effective date: 20120912 |
    2012-10-31| R082| Change of representative|Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB PATENT- UND , DE Effective date: 20120912 Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER PATENT- UND RECH, DE Effective date: 20120912 Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, DE Effective date: 20120912 |
    2014-07-07| R082| Change of representative|Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER PATENT- UND RECH, DE |
    2014-08-14| R082| Change of representative|Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB PATENT- UND , DE Effective date: 20140707 Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER PATENT- UND RECH, DE Effective date: 20140707 |
    2014-08-14| R081| Change of applicant/patentee|Owner name: UNIFIED INNOVATIVE TECHNOLOGY, LLC, WILMINGTON, US Free format text: FORMER OWNER: SHARP KABUSHIKI KAISHA, OSAKA-SHI, OSAKA, JP Effective date: 20140707 |
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    2015-07-23| R018| Grant decision by examination section/examining division|
    2016-08-27| R020| Patent grant now final|
    2021-02-08| R082| Change of representative|Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB PATENT- UND , DE |
    2021-02-08| R081| Change of applicant/patentee|Owner name: GLOBAL OLED TECHNOLOGY LLC, STERLING, US Free format text: FORMER OWNER: UNIFIED INNOVATIVE TECHNOLOGY, LLC, WILMINGTON, DEL., US |
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